生产厂家：德国ZEISS公司捷克分厂
仪器型号：ZEISS Sigma 500
用途及测试范围：可在高真空下对金属、矿物、半导体、陶瓷、生物、高分子等材料进行纳米尺度微观形貌的检测，可对样品进行背散射成像，通过能谱仪附件可对样品进行微区成分分析。